濕度在半導(dǎo)體行業(yè)中的要求半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下，生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境，特別是對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求，由于電子產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響，其對(duì)濕度的精度提出了嚴(yán)格要求，對(duì)于空調(diào)系統(tǒng)的配置，則要求系統(tǒng)同時(shí)具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。一般的，半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為：T=22±2°C，RH=45±5%;而對(duì)于這個(gè)溫濕度要求，傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進(jìn)行處理，并取得了一定成果。但這種方式卻存在著一個(gè)致命問(wèn)題，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi)，特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng)，大排風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況，使得這個(gè)問(wèn)題十分突出。因此，在*新的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)系統(tǒng)開(kāi)始使用新風(fēng)通過(guò)新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過(guò)后空調(diào)機(jī)組處理的組合方式，達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求，并取得了顯著收益。

　　轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)系統(tǒng)的特性

　　轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕空調(diào)系統(tǒng)，就是將具有冷熱交換的冷卻除濕循環(huán)系統(tǒng)與轉(zhuǎn)輪除濕相結(jié)合，利用制冷系統(tǒng)的吸熱除濕進(jìn)行前期除濕，而利用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行深度除濕。冷卻除濕在一定的范圍內(nèi)除濕效果好，且性能穩(wěn)定，但當(dāng)濕度要求較低時(shí)，冷卻除濕的能力明顯下降，此時(shí)選用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕系統(tǒng)，可以達(dá)到很好的效果。冷卻除濕作為前期除濕，突出了冷卻除濕機(jī)高^(guò)***工況下能耗低的特點(diǎn)，利用轉(zhuǎn)輪除濕進(jìn)行深度除濕，突出了轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)低溫低濕條件下，不受^***限制且除濕量大的優(yōu)點(diǎn)。此系統(tǒng)常用的處理流程如下：1：冷卻除濕;2：轉(zhuǎn)輪除濕;3：等濕冷卻;5：再生加熱;6：絕熱再生

　　在低濕環(huán)境條件下，采用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)系統(tǒng)具有僅冷卻除濕機(jī)不可比擬的優(yōu)越性。