羅茨泵的工作原理
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。 如圖為羅茨泵轉子由0°轉到180°的抽氣過程。在0°位置時(圖中a)，下轉子從泵入口封入v0體積的氣體。當轉到45°位置時(圖中b)，該腔與排氣口相通。由于排氣側壓強較高，引起一部分氣體返沖過來。當轉到90°位置時(圖中c)，下轉子封入的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵外。這時，上轉子也從泵入口封入v0體積的氣體。當轉子繼續轉到135°時(圖中d)，上轉子封入的氣體與排氣口相通，重復上述過程。180°(圖e)位置和0°位置是一樣的。轉子主軸旋轉一周共排出四個v0體積的氣體。
羅茨真空泵的*大優點是：在較低入口壓力時具有較高的抽氣速率，但它不能單獨使用，必須有一臺前級真空泵串聯。待被抽系統中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時，羅茨真空泵才能開始工作。并且在一般情況下，羅茨真空泵不允許高壓差時工作，否則將會過載和過熱而損壞，因此使用羅茨真空泵時必須合理地選用前級真空泵，安裝必要的保護設備。
